GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术MEMS结构共振疲劳试验方法

GB/T 38447-2020.Micro-electromechanical system technology- Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration. 1范围 GB/T 38447规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。 GB/T 38447适用于MEMS结构的共振疲劳试验。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。. GB/T 2298机械振动 、冲击与状态监测词汇 GB/T 10623金属材料力学性能试验术语 GB/T 26111微 机电系统(MEMS)技术术语 3术语和定义 GB/T 2298、GB/T 10623、GB/T 26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 载荷比 load ratio 周期加载中最大值和最小值的代数比。 3.2 瞬时破坏强度 instantaneous failure strength 静态试验或共振振动试验在快速幅值增长过程中的破坏强度。 3.3 参考强度 reference strength 静态强度或瞬时破坏强度。 4试验方法 4.1总则 通过对样品施加预期振动幅值的共振振动进行疲劳试验。当样品失效或达到预定的试验时间或次数时,试验结束。 4.2试验设备 4.2.1概述 试验设备能够对试验结构产生恒定振幅和稳定频率的振动。试验系统由激振器、拾振传感器(以下简称传感器)、控制器和记录仪器组成。试验系统框图如图1所示。 4.2.2 激振器 激振器能在所需方向上对样品施加一定振幅和频率的振荡力。可使用不同种类的激振器,例如,静电、压电、热和电磁激振器等。激振器也可安装在样品中。 4.2.3拾振传感器 拾振传感器能够测量样品的运动以确定样品试验部位的振幅。 4.2.4 控制器 控制器可控制激振器产生振荡力,以保持恒定振幅共振振动。根据样品的振动特性,采用下列方法: a)闭合回路法一根据传感器测量信号的变化确定试验部位的共振频率,通过闭环电路维持共振频率。 b)开环控制法一通过激励试验部位,在预定的共振频率和振荡信号幅度下试验。 在整个试验中,频率和幅度的稳定性应保持在所需值的士3%内。