GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

GB/T 38614-2020.Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator. 1范围 GB/T 38614规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台(以下简称为平台)的测量条件、测量系统和测量方法。 GB/T 38614适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 11336-2004直线 度误差检测 GB/T 38616-2020纳米定位与扫描平台术语 3术语和定义 GB/T 38616-2020界定的术语和定义适用于本文件。 4测量条件 平台的测量应满足如下条件:. a)测量场地应无影响测量精度的灰尘、振动、气流扰动和较强磁场; b)测量时 的环境温度为(20士1)°C,其变化应不大于0.5 C/h; c) 测量时的环境相对湿度为(50士5)%; d)测量前应确认平台无影响测量正确性实施和测量结果的外观缺陷; e)测量时平台处于正常工作状态。 5测量仪器 本标准中推荐使用激光干涉仪(以下简称干涉仪),角摆偏差也可使用自准直仪,测量仪器精度应满足测量要求。 6测量方法 6.1轴向行程 6.1.1测量步骤 将干涉仪严格对准平台,按照以下步骤进行轴向行程测量: a)将平台移动至行程反向极限位置,干涉仪测量读数清零; b)将平台 移动至行程正向极限位置,记录干涉仪测量值; c)重复步骤a)和步骤b)不应少于3次。