GB/T 39157-2020 靶材技术成熟度等级划分及定义

GB/T 39157-2020.Classification and definition of the technology readiness levels for targets. 1范围 GB/T 39157规定了靶材技术成熟度的术语和定义、等级划分和判定规则。 GB/T 39157适用于靶材技术成熟度评价。 2术 语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 2.1 靶材 target 在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。 2.2 技术成熟度 technology readiness 技术满足预期靶材应用目标的程度。 2.3 技术成熟度等级 technology readiness levels 用于衡量靶材技术满足预期应用目标程度的尺度。 注:改写GB/T 37264-2018,定义2.2。 2.4 技术参数 technical parameter 针对某一事物在规定的检测条件下得出的相对数据。 注:一般是指设计或生产时做出的性能测试报告。 2.5 靶材样品 target samples 在实验室阶段,根据靶材设计要求而制备的用于测试主要性能、结构和检验.工艺性能的实物,具备了靶材的部分特性。 注:改写GB/T 37264-2018,定义2.3. 2.6 靶材试制品 target developed products 在靶材工程化阶段,考虑最终形式，并在实验室环境或使用环境下,对靶材关键性能和功能进行测试,通过小批量或小规模制备的实物。 注:改写GB/T 37264-2018,定义2.4。 2.7 实验室环境 laboratory environments 实验室的检测和校准设施以及环境条件,用于验证技术原理和使用功能。 2.8 模拟环境 simulation environments 模拟真实使用环境,用以验证靶材的关键性能或其主要组成部分的关键性能。